1、真空設(shè)備設(shè)計中的注意事項

1、真空設(shè)備的總允許漏率根據(jù)設(shè)備的工藝要求確定，每個組件的較大允許漏率根據(jù)總漏率確定。

2、根據(jù)設(shè)備的較大允許泄漏率等指標(biāo)，初步確定設(shè)計階段將采用的泄漏檢測方法，并將其作為指導(dǎo)調(diào)試驗收的基本原則之一。

3、根據(jù)設(shè)備或部件的較大允許泄漏指標(biāo)，確定設(shè)備的密封、連接方式和整體加工精度，以及可滿足要求的動態(tài)密封形式。例如，法蘭用金屬或橡膠密封。

4、在設(shè)計容器結(jié)構(gòu)強度時，應(yīng)考慮被檢件的耐壓性和結(jié)構(gòu)強度。

5、在選擇零件結(jié)構(gòu)材料時，考慮是否使用可能被工作介質(zhì)和泄漏氣體腐蝕而損壞的材料。

6、在結(jié)構(gòu)設(shè)計中，應(yīng)在容器或系統(tǒng)上留下必要的泄漏檢測儀器備用接口，以便在設(shè)備組裝和調(diào)試過程中使用泄漏檢測。特別是對于大型、復(fù)雜的管道系統(tǒng)，通常需要采用分段泄漏檢測方法，因此應(yīng)在管道上設(shè)置分段隔離閥，并在每個隔離段上預(yù)留泄漏檢測儀器接口。

7、在設(shè)計零件結(jié)構(gòu)時，盡量避免使用可能干擾泄漏檢測工作的設(shè)計方案。例如，真空室內(nèi)的螺釘孔不能采用盲孔的形式，因為螺釘安裝后，螺釘孔內(nèi)剩余空間的氣體只能通過螺紋間隙逸出，形成虛擬泄漏。從而延長系統(tǒng)的抽氣時間，干擾泄漏檢測的正常進行。如圖所示，真空泄漏檢測中不應(yīng)出現(xiàn)的結(jié)構(gòu)。

8、與此類似，結(jié)構(gòu)設(shè)計中不允許存在連續(xù)雙面焊縫和多層密封圈結(jié)構(gòu)，因為這會在中間形成“寄生容積”內(nèi)的氣體會形成虛漏；而當(dāng)內(nèi)、外雙側(cè)焊縫或密封圈同時泄漏時，“寄生容積”使示漏氣體穿越雙層焊縫的響應(yīng)時間過長，無 常檢漏。

9、在設(shè)計焊接結(jié)構(gòu)時，盡量減少總裝后無法檢漏的焊縫。

二 真空設(shè)備制造過程中的泄漏檢測

在設(shè)備加工階段，有必要遵循加工工藝（特別是焊接工藝），及時檢查半成品零件的泄漏情況。對于制造后無法接觸、檢漏或修復(fù)的零件，應(yīng)嚴(yán)格檢查焊縫質(zhì)量。如果不合格，應(yīng)及時重新焊接、重新焊接和重新檢測。只有在滿足要求后才能進行下一道工序。特別是對于大容器的組裝焊接和加工，中間過程的泄漏檢測非常關(guān)鍵。必要時，應(yīng)設(shè)計和制造專用泄漏檢測工具（如泄漏檢測箱、盲板等）。對于采用雙層室壁水冷夾套的真空室體，較好先組裝焊接內(nèi)壁并檢查泄漏情況，確認(rèn)無泄漏后再組裝焊接外壁。同樣，對于室壁外有保溫層等不易拆卸結(jié)構(gòu)的情況，必須首先嚴(yán)格檢查室壁的泄漏情況，然后才能覆蓋外部結(jié)構(gòu)。

如果條件允許，所有真空法蘭及其接管（包括真空室法蘭和室壁）都應(yīng)采用焊接后處理法蘭表面的工藝。即使在安裝調(diào)試階段可能滿足密封要求，加熱、振動等因素也可能誘發(fā)焊接應(yīng)力的釋放，導(dǎo)致法蘭變形和密封性能下降。

在加工制造過程中，嚴(yán)格執(zhí)行真空操作衛(wèi)生和操作規(guī)范，對提高真空設(shè)備和系統(tǒng)的氣密性也很有幫助。焊接坡口拋光成型后，需要清洗和及時保護，有利于提高焊縫的氣密性。加工后的零件應(yīng)采取移動和靜態(tài)密封面的保護措施，嚴(yán)格防止在儲存、搬運和裝配過程中發(fā)生碰撞和劃傷。使用焊接波紋管、金屬、陶瓷或玻璃密封件、玻璃設(shè)備等易損件時，應(yīng)更加小心，特別是避免預(yù)檢漏損壞。

三、真空設(shè)備安裝調(diào)試過程中的檢漏步驟

安裝調(diào)試階段是真空設(shè)備或系統(tǒng)泄漏檢測的主體。如果設(shè)備焊縫的氣密性已通過加工階段的泄漏檢測得到保證，則在設(shè)備安裝調(diào)試過程中，檢查和保證連接部件的密封性是泄漏檢測的重點。包括各管道和部件之間的法蘭連接和移動密封件等關(guān)鍵可疑部件。如果焊縫和連接部件同時泄漏，泄漏檢測的工作量和難度都會增加。大型、復(fù)雜的真空設(shè)備較好采用分段泄漏檢測，每個部件，連接部件和焊縫一次泄漏檢測，滿足要求后安裝下一個部件。由于所有部件組裝后的泄漏檢測，不僅懷疑部件太多，而且可能同時泄漏多個泄漏，給整體泄漏檢測帶來了很大的困難。

四 真空設(shè)備安裝調(diào)試過程中的檢漏步驟如下：

1、了解待檢設(shè)備的結(jié)構(gòu)組成和組裝工藝。掌握設(shè)備要求，找出檢漏的關(guān)鍵可疑部位。

2、具 是否需要根據(jù)規(guī)定的較大允許漏率找到漏洞 從經(jīng)濟、快速、可靠的原則出發(fā)，正確選擇檢漏方法或儀器，準(zhǔn)備檢漏所需的輔助設(shè)備，制定可行的檢漏程序。

3、清潔被檢件，取出焊渣和油垢，然后根據(jù)真空衛(wèi)生條件進行清潔和干燥。對于要求較高的小型設(shè)備。清洗后，可通過真空干燥箱烘烤。清洗后，不僅可以避免漏孔被污垢、油和有機溶液堵塞，還可以保護泄漏檢測儀器。

4、校準(zhǔn)所選檢漏方法和檢漏設(shè)備的檢漏靈敏度，確定檢漏系統(tǒng)的檢漏時間。

5、采用真空檢漏法時，為提高儀器的靈敏度，應(yīng)盡可能將被檢件抽到更高的真空中。

6、在允許的前提下，應(yīng)盡可能優(yōu)先考慮經(jīng)濟和現(xiàn)場合格的泄漏檢測方法。

7、采用氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備檢漏時，對于要求檢漏不高的或有大漏產(chǎn)生的被檢件時，在檢漏初期應(yīng)盡量用濃度較低的氦氣進行檢漏，然后再進行小漏孔的檢漏，以節(jié)約氦氣。

8、及時修復(fù)和堵塞已檢測到的大漏孔，然后檢測小漏孔。9.檢查檢測和修復(fù)的漏孔，確保檢測結(jié)果符合要求。

五、使用真空設(shè)備時的注意事項

在真空設(shè)備的使用和運行階段，設(shè)備的氣密性往往會下降，整體泄漏率也會上升，這是影響真空設(shè)備正常運行的主要原因。造成這種現(xiàn)象的原因包括：機械振動松動連接部件；經(jīng)常拆卸部件的密封圈可能損壞或安裝不正確；由于冷熱沖擊而變形和疲勞損壞；部分部件或材料因工作介質(zhì)腐蝕而損壞；部分漏洞被水、油或其他污垢堵塞；應(yīng)力集中引起裂紋。

正確使用真空設(shè)備時，應(yīng)將泄漏檢測納入真空設(shè)備的日常維護和管理規(guī)范，如定期進行靜壓檢驗。操作人員應(yīng)及時解決設(shè)備氣密性下降問題，根據(jù)設(shè)備使用情況和故障現(xiàn)象分析泄漏原因，采取適當(dāng)?shù)男孤z測方法，檢測泄漏位置，及時修復(fù)。不要等到設(shè)備出現(xiàn)各種泄漏，沒有 工作時檢漏維修。

此外，準(zhǔn)備充足的密封備件，定期更換易損件（而不是問題后），也是做好真空泄漏檢測，確保設(shè)備正常運行的主要措施。